Publication detail

A device for on-situ monitoring of thin films homogenity

URBÁNEK, M.

Czech title

Zařízení pro in-situ plošné monitorování homogenity tenkých vrstev

English title

A device for on-situ monitoring of thin films homogenity

Type

conference paper

Language

cs

Original abstract

Zařízení pro in-situ plošné monitorování homogenity tenkých vrstev

Czech abstract

Zařízení pro in-situ plošné monitorování homogenity tenkých vrstev

English abstract

A device for on-situ monitoring of thin films homogenity

Keywords in English

Interferometry

RIV year

2001

Released

05.12.2000

Publisher

Vutium

Location

Brno

Book

II. sborník příspěvků doktorandů, konference u příležitosti 100. výročí založení FSI

Pages count

4

BIBTEX


@inproceedings{BUT4507,
  author="Michal {Urbánek},
  title="Zařízení pro in-situ plošné monitorování homogenity tenkých vrstev",
  booktitle="II. sborník příspěvků doktorandů, konference u příležitosti 100. výročí založení FSI",
  year="2000",
  month="December",
  publisher="Vutium",
  address="Brno"
}