Detail publikace

Zařízení pro in-situ plošné monitorování homogenity tenkých vrstev

URBÁNEK, M.

Český název

Zařízení pro in-situ plošné monitorování homogenity tenkých vrstev

Anglický název

A device for on-situ monitoring of thin films homogenity

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

cs

Originální abstrakt

Zařízení pro in-situ plošné monitorování homogenity tenkých vrstev

Český abstrakt

Zařízení pro in-situ plošné monitorování homogenity tenkých vrstev

Anglický abstrakt

A device for on-situ monitoring of thin films homogenity

Klíčová slova anglicky

Interferometry

Rok RIV

2001

Vydáno

05.12.2000

Nakladatel

Vutium

Místo

Brno

Kniha

II. sborník příspěvků doktorandů, konference u příležitosti 100. výročí založení FSI

Počet stran

4

BIBTEX


@inproceedings{BUT4507,
  author="Michal {Urbánek},
  title="Zařízení pro in-situ plošné monitorování homogenity tenkých vrstev",
  booktitle="II. sborník příspěvků doktorandů, konference u příležitosti 100. výročí založení FSI",
  year="2000",
  month="December",
  publisher="Vutium",
  address="Brno"
}