Publication detail

ACCURACY OF MEASUREMENT IN NANOMETROLOGY

ŠRÁMEK, J. JANKOVÝCH, R.

Czech title

PŘESNOST MĚŘENÍ V NANOMETROLOGIi

English title

ACCURACY OF MEASUREMENT IN NANOMETROLOGY

Type

journal article in Scopus

Language

en

Original abstract

The presented article focuses on measurements of extremely small dimensions in nanometrology using tactile probes. It addresses a newly developed method of precise measurements in nanometrology by touch probes, where the measurements are carried out on the machine SIOS NNM-1. The aim of this work is to determine accuracy of measurements on this machine.

Czech abstract

Prezentovaný článek se zaměřuje na měření velmi malých rozměrů v nanometrologii pomocí dotykové sondy. Na souřadnicovém měřicím stroji SIOS NNM-1 byla odzkoušena nově vyvinutá metoda přesného měření v nanometrologii s využitím speciální dotykové sondy. V článku je objasněn postup určení přesnosti měření na tomoto měřicím stroji.

English abstract

The presented article focuses on measurements of extremely small dimensions in nanometrology using tactile probes. It addresses a newly developed method of precise measurements in nanometrology by touch probes, where the measurements are carried out on the machine SIOS NNM-1. The aim of this work is to determine accuracy of measurements on this machine.

Keywords in Czech

přesnost měření, měření délky, opakovatelnost měření, reprodukovatelnost měření, nejistota měření, měřicí zařízení, nanometrologie, rubínová kulička

Keywords in English

accuracy of measurement, length measurement, measurement repeatability, measurement reproducibility, measurement uncertainty, measuring device, nanometrology, ruby ball

Released

30.11.2016

Publisher

MM Science Journal

Location

ČR

ISSN

1805-0476

Volume

2016

Number

6

Pages from–to

1643–1647

Pages count

5

BIBTEX


@article{BUT131340,
  author="Jan {Šrámek} and Róbert {Jankových},
  title="ACCURACY OF MEASUREMENT IN NANOMETROLOGY",
  year="2016",
  volume="2016",
  number="6",
  month="November",
  pages="1643--1647",
  publisher="MM Science Journal",
  address="ČR",
  issn="1805-0476"
}