Detail publikace

PŘESNOST MĚŘENÍ V NANOMETROLOGIi

ŠRÁMEK, J. JANKOVÝCH, R.

Český název

PŘESNOST MĚŘENÍ V NANOMETROLOGIi

Anglický název

ACCURACY OF MEASUREMENT IN NANOMETROLOGY

Typ

článek v časopise ve Scopus, Jsc

Jazyk

en

Originální abstrakt

The presented article focuses on measurements of extremely small dimensions in nanometrology using tactile probes. It addresses a newly developed method of precise measurements in nanometrology by touch probes, where the measurements are carried out on the machine SIOS NNM-1. The aim of this work is to determine accuracy of measurements on this machine.

Český abstrakt

Prezentovaný článek se zaměřuje na měření velmi malých rozměrů v nanometrologii pomocí dotykové sondy. Na souřadnicovém měřicím stroji SIOS NNM-1 byla odzkoušena nově vyvinutá metoda přesného měření v nanometrologii s využitím speciální dotykové sondy. V článku je objasněn postup určení přesnosti měření na tomoto měřicím stroji.

Anglický abstrakt

The presented article focuses on measurements of extremely small dimensions in nanometrology using tactile probes. It addresses a newly developed method of precise measurements in nanometrology by touch probes, where the measurements are carried out on the machine SIOS NNM-1. The aim of this work is to determine accuracy of measurements on this machine.

Klíčová slova česky

přesnost měření, měření délky, opakovatelnost měření, reprodukovatelnost měření, nejistota měření, měřicí zařízení, nanometrologie, rubínová kulička

Klíčová slova anglicky

accuracy of measurement, length measurement, measurement repeatability, measurement reproducibility, measurement uncertainty, measuring device, nanometrology, ruby ball

Vydáno

30.11.2016

Nakladatel

MM Science Journal

Místo

ČR

ISSN

1805-0476

Ročník

2016

Číslo

6

Strany od–do

1643–1647

Počet stran

5

BIBTEX


@article{BUT131340,
  author="Jan {Šrámek} and Róbert {Jankových},
  title="ACCURACY OF MEASUREMENT IN NANOMETROLOGY",
  year="2016",
  volume="2016",
  number="6",
  month="November",
  pages="1643--1647",
  publisher="MM Science Journal",
  address="ČR",
  issn="1805-0476"
}