Publication detail
Determination of mechanical properties from microcompression test
TRUHLÁŘ, M. KRUML, T. KUBĚNA, I. PETRÁČKOVÁ, K. NÁHLÍK, L.
Czech title
Stanovení mechanických vlastností materiálu z mikrokompresního testu
English title
Determination of mechanical properties from microcompression test
Type
conference paper
Language
en
Original abstract
This paper describes a microcompression test of Al – 1.5 wt. % Cu thin film deposited on Si substrate. Microcompression combines the sample preparation with the use of ion focused beam (FIB) with a compression test carried out using nanoindenter. Cylindrical specimens (pillars) were prepared using FIB. The diameter of pillars was about 1.3 microns and their height was about 2 microns (equal to the film thickness). Stress-strain curves of the thin film were obtained. The results depend on crystallographic orientation of pillar. The paper is focused to an attempt to determine as precisely as possible Young modulus of the film using experimental data and finite element modelling.
Czech abstract
Tento příspěvek popisuje mikrokompresní test tenkého filmu Al – 1,5 hm. % Cu na Si podkladu. Mikrokompresní test spočívá jak v přípravě vzorku s použitím fokusovaného iontového svazku (FIB), tak s kompresním testem provedeným za použití nanoindentoru. Válcové vzorky (pilíře) byly připraveny pomocí FIB. Průměr pilířů byl asi 1,3 mikrometru a jejich výška byla asi 2 mikrometry (což odpovídá tloušťce filmu). Z výsledků experimentu byly získány křivky napětí-deformace tenké vrstvy. Výsledky ukazují jejich závislost na krystalografické orientaci pilíře. Příspěvek je zaměřen na zjištění co nejpřesnějších hodnot modulu pružnosti v tahu filmu s použitím experimentálních dat a pomocí metody konečných prvků.
English abstract
This paper describes a microcompression test of Al – 1.5 wt. % Cu thin film deposited on Si substrate. Microcompression combines the sample preparation with the use of ion focused beam (FIB) with a compression test carried out using nanoindenter. Cylindrical specimens (pillars) were prepared using FIB. The diameter of pillars was about 1.3 microns and their height was about 2 microns (equal to the film thickness). Stress-strain curves of the thin film were obtained. The results depend on crystallographic orientation of pillar. The paper is focused to an attempt to determine as precisely as possible Young modulus of the film using experimental data and finite element modelling.
Keywords in Czech
mechanické vlastnosti, tenké vrstvy, mikrokompresní test
Keywords in English
mechanical properties, thin layers, microcompression test
RIV year
2012
Released
14.05.2012
ISBN
978-80-86246-40-6
Book
Sborník Engineering Mechanics 2012
Pages from–to
1435–1440
Pages count
6
BIBTEX
@inproceedings{BUT97155,
author="Michal {Truhlář} and Tomáš {Kruml} and Ivo {Kuběna} and Klára {Petráčková} and Luboš {Náhlík},
title="Determination of mechanical properties from microcompression test",
booktitle="Sborník Engineering Mechanics 2012",
year="2012",
month="May",
pages="1435--1440",
isbn="978-80-86246-40-6"
}