Product detail
Device for silicon wafer analysis
PÁLENÍČEK, M. WERTHEIMER, P. ŠULC, D.
Czech title
Zařízení na analýzu křemíkových desek
English title
Device for silicon wafer analysis
Type
functional specimen
Czech abstract
Zařízení se skládá z motorizovaného manipulačního stolku mikroskopu a řídící elektroniky. Elektronika ovládá motory stolku a polohuje křemíkovou desku s přesností na několik mikrometrů. Umožňuje tak snímat mikroskopem povrch celé křemíkové desky. Software analyzuje snímky povrchu křemíkových desek a detekuje počet a rozmístění vrstevných chyb (OISF).
English abstract
Device consists of motorized microscope XY-manipulator and control electronics. The electronics controls motors and positions silicon wafer with micrometer precision. It enables taking photos of whole silicon wafer surface. Software analyse photos of silicon wafer surface and detects number and position of defects (OISF).
Create date
09.12.2012
Location
On Semiconductor, Rožnov pod Radhoštěm