Publication detail

Optická tunelová skenovací mikroskopie s lokální sondou: bezkontaktní nedestruktivní metoda pro měření drsnosti povrchu s nanometrickou příčnou rozlišovací schopností

TOMÁNEK, P.

Czech title

Optická tunelová skenovací mikroskopie s lokální sondou: bezkontaktní nedestruktivní metoda pro měření drsnosti povrchu s nanometrickou příčnou rozlišovací schopností

Type

dissertation

Language

cs

Original abstract

Pro překonání hranic daných Rayleighovou-Abbeovou podmínkou pro příčnou rozlišovací schopnost optických mikroskopů je třeba detekovat optické pole difragované předmětem v nepatrné vzdálenosti od jeho povrchu. Cílem práce je realizace skenovacího optického mikroskopu s lokální dielektrickou sondou. Ukázali jsme dvě metody přípravy těchto mikrodetektorů, jejichž tvar a rozměry ovlivňují podstatným způsobem rozlišovací schopnost zařízení. Prezentované výsledky ukazují, že v případě polohy hrotu v blízkém poli je možné dosáhnout rozlišovací schopnosti lambda/10.

Czech abstract

Pro překonání hranic daných Rayleighovou-Abbeovou podmínkou pro příčnou rozlišovací schopnost optických mikroskopů je třeba detekovat optické pole difragované předmětem v nepatrné vzdálenosti od jeho povrchu. Cílem práce je realizace skenovacího optického mikroskopu s lokální dielektrickou sondou. Ukázali jsme dvě metody přípravy těchto mikrodetektorů, jejichž tvar a rozměry ovlivňují podstatným způsobem rozlišovací schopnost zařízení. Prezentované výsledky ukazují, že v případě polohy hrotu v blízkém poli je možné dosáhnout rozlišovací schopnosti lambda/10.

Released

26.05.1999

BIBTEX


@phdthesis{BUT66637,
  author="Pavel {Tománek},
  title="Optická tunelová skenovací mikroskopie s lokální sondou: bezkontaktní nedestruktivní metoda pro měření drsnosti povrchu s nanometrickou příčnou rozlišovací schopností",
  year="1999",
  month="May"
}