Publication detail

Nanotechnology, nanoelectronics, optical nanometrology

TOMÁNEK, P.

Czech title

Nanotechnologie, nanoelektronika a optická nanometrologie

English title

Nanotechnology, nanoelectronics, optical nanometrology

Type

conference paper

Language

cs

Original abstract

Článek přináší přehled nanotechnologických přístupů, nanoelektroniky a aplikace optické nanometrologie na studium nanostruktur.

Czech abstract

Článek přináší přehled nanotechnologických přístupů, nanoelektroniky a aplikace optické nanometrologie na studium nanostruktur.

English abstract

The paper brings an overview of nanotechological approaches, nanoelectronics and applications of optical nanometrology on the investigation of semiconductor structures.

Keywords in Czech

nanometrologie, nanoelektronika, optická nanometrologie, aplikace

Keywords in English

nanotechnology, nanoelectronics, optical nanometrology, applications

RIV year

2003

Released

20.12.2000

Publisher

Ing. Zdeněk Novotný, CSc.

Location

Brno

ISBN

80-214-1781-1

Book

20 let Ústavu mikroelektroniky FEI VUT v Brně

Pages count

9

BIBTEX


@inproceedings{BUT3323,
  author="Pavel {Tománek},
  title="Nanotechnologie, nanoelektronika a optická nanometrologie",
  booktitle="20 let Ústavu mikroelektroniky FEI VUT v Brně",
  year="2000",
  month="December",
  publisher="Ing. Zdeněk Novotný, CSc.",
  address="Brno",
  isbn="80-214-1781-1"
}