Detail publikace

Monitoring of surface homogeneity of optical parameters of thin films.

URBÁNEK, M. ŠIKOLA, T. NEBOJSA, A. SPOUSTA, J. DITTRICHOVÁ, L. CHMELÍK, R. ZLÁMAL, J. JIRUŠE, J.

Anglický název

Monitoring of surface homogeneity of optical parameters of thin films.

Typ

článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus

Jazyk

en

Originální abstrakt

Monitoring of surface homogeneity of optical parameters of thin films

Anglický abstrakt

Monitoring of surface homogeneity of optical parameters of thin films

Klíčová slova anglicky

thin films

Rok RIV

2001

Vydáno

17.04.2000

Nakladatel

Editors: B. Michel, T. Winkler, M. Werner,H. Fecht

Místo

Berlin

Kniha

Micromat 2000

Počet stran

6

BIBTEX


@inproceedings{BUT4155,
  author="Michal {Urbánek} and Tomáš {Šikola} and Alois {Nebojsa} and Jiří {Spousta} and Libuše {Dittrichová} and Radim {Chmelík} and Jakub {Zlámal} and Jaroslav {Jiruše},
  title="Monitoring of surface homogeneity of optical parameters of thin films.",
  booktitle="Micromat 2000",
  year="2000",
  month="April",
  publisher="Editors: B. Michel, T. Winkler, M. Werner,H. Fecht",
  address="Berlin"
}