Detail publikace
Hybridní laserová-magnetronová depozice TiC a TiCN
KADLEC, J. JELÍNEK, M. KOCOUREK, T. DVOŘÁK, M. JOSKA, Z.
Český název
Hybridní laserová-magnetronová depozice TiC a TiCN
Anglický název
Hybrid Laser-Magnetron Deposition of TiC and TiCN Thin Films
Typ
článek ve sborníku ve WoS nebo Scopus
Jazyk
en
Originální abstrakt
Hybrid laser-magnetron deposition systéme was developed and tested for study carbon based thin films. Films were fabricated in argon (TiC) and in argon/nitrogen (TiCN). Crystaline films were grown at room substrate temperature. Film properties were studied by SEM, XRD, XPS and GDOES
Český abstrakt
Depoziční systém pro hybridní laserovou-magnetronovou depozici byl navržen a testován pro studium tenkých povlaků na základě uhlíku. Tenké povlaky byly vytvářeny v atmosféře argonu nebo směsi argonu a dusíku. Byly vytvořeny krystalické povlaky i za pokojové teploty. Vlastnosti vytvořených povlaků byly hodnoceni metodami SEM, XRD, XPS a GDOES
Anglický abstrakt
Hybrid laser-magnetron deposition systéme was developed and tested for study carbon based thin films. Films were fabricated in argon (TiC) and in argon/nitrogen (TiCN). Crystaline films were grown at room substrate temperature. Film properties were studied by SEM, XRD, XPS and GDOES
Klíčová slova česky
Hybridní depozice, strukturní valstnosti, povlaky TiC-TiCN
Klíčová slova anglicky
Hybrid deposicion, structure properties, TiC-TiCN films
Rok RIV
2008
Vydáno
30.06.2008
Nakladatel
Brno University of Technology
Místo
Brno
ISBN
978-80-214-3659-6
Kniha
9th ABA
Číslo edice
1
Strany od–do
32–36
Počet stran
5
BIBTEX
@inproceedings{BUT32392,
author="Jaromír {Kadlec} and Miroslav {Jelínek} and Tomáš {Kocourek} and Milan {Dvořák} and Zdeněk {Joska},
title="Hybrid Laser-Magnetron Deposition of TiC and TiCN Thin Films",
booktitle="9th ABA",
year="2008",
month="June",
pages="32--36",
publisher="Brno University of Technology",
address="Brno",
isbn="978-80-214-3659-6"
}