Detail produktu
Software pro vyhodnocení topografie povrchu metodou WLSI
ŠPERKA, P.
Český název
Software pro vyhodnocení topografie povrchu metodou WLSI
Anglický název
Software for surface topography evaluation by using WLSI method
Typ
software
Český abstrakt
Program slouží pro vyhodnocení měření topografie povrchu interferometrií v bílém světle (White light scanning interferometry), při kterém se povrch vzorku skenuje ve vertikálním směru s krokem 70-140 nm. Výsledkem je sada interferogramů, běžně v počtu 64 až 512 snímků. Sada snímků obsahuje pro každý bod obrazu signál, který se skládá z dvou komponent. První je nosná vlna, jehož frekvence je daná střední vlnovou délkou použitého zdroje, druhou komponentou je modulační vlna, jehož vlnová délka je dána spektrální šířkou zdroje. Úkolem programu je vyhodnotit sadu snímků a lokalizovat místo maximální interference.
Anglický abstrakt
The application is designated to evaluation of surface topography measurements based on White light interferometry technique, in which the sample surface is scanned in vertical direction with 70-140 nm steps to obtain a series of interferograms generally from 64 to 512 frames. The set of frames creates a signal for every point in the image which consists of two components. The first is carrying wave with the frequency given by mean wavelength of the light source. The second one is modulating wave with the frequency given by spectral width of the light source. The objective of the software is analysing the set of frames and localization of the interference peak.
Datum vzniku
31.10.2010
Umístění
místnost A2/401 ÚSTAV KONSTRUOVÁNÍ Vysoké učení technické v Brně, FSI Technická 2896/2 616 69 BRNO
WWW