Detail publikace

3D optický profilometr pro mapování inženýrských povrchů

ŠPERKA, P. HARTL, M.

Český název

3D optický profilometr pro mapování inženýrských povrchů

Anglický název

3D optical profilometer for surface topography mapping

Typ

konferenční sborník (ne článek)

Jazyk

cs

Originální abstrakt

V článku je prezentována aplikace interferometrie s řízenou změnou fáze (phase shifting interferometry – PSI) pro in-situ studium reálných tribologických problémů. Byl sestaven systém 3D optického profilometru, tj. měřicí aparatura a vyvinuté softwarové rozhraní. Článek obsahuje popis metody, použitého algoritmu, řešení kalibrace kamery metodou radiometrické autokalibrace (radiometric self calibration), popis měřicí aparatury a vyvinutého softwaru. Jsou prezen-továny výsledky ověření přesnosti měření na standardu SHS 880 QC VLSI a aplikace metody na reálné povrchy. Závěr obsahuje shrnutí práce a diskuzi o možnostech zlepšení přesnosti 3D profilometru.

Český abstrakt

V článku je prezentována aplikace interferometrie s řízenou změnou fáze (phase shifting interferometry – PSI) pro in-situ studium reálných tribologických problémů. Byl sestaven systém 3D optického profilometru, tj. měřicí aparatura a vyvinuté softwarové rozhraní. Článek obsahuje popis metody, použitého algoritmu, řešení kalibrace kamery metodou radiometrické autokalibrace (radiometric self calibration), popis měřicí aparatury a vyvinutého softwaru. Jsou prezen-továny výsledky ověření přesnosti měření na standardu SHS 880 QC VLSI a aplikace metody na reálné povrchy. Závěr obsahuje shrnutí práce a diskuzi o možnostech zlepšení přesnosti 3D profilometru.

Anglický abstrakt

This paper deals with the development of software for three dimensional optical profilometry based on phase shifting interferometry. The introduction describes the fundamentals of method, algorithm and sources of error. The main section includes the camera calibration solution by using radiometric self calibration, description of measuring configuration equipments. The characterization of developed software are part of the next section. Lastly, results of accuracy verification, measurement of real surfaces are presented and discussed.

Klíčová slova česky

optická interferometrie, interferometrie s řízenou změnou fáze, měření topografie povrchu, optický profilometr, standard SHS VLSI

Klíčová slova anglicky

optical interferometry, phase shifting interferometry, surface topography measurement, optical profilometer, standard SHS VLSI

Rok RIV

2007

Vydáno

05.06.2007

Nakladatel

Ústav konstruování

Místo

Ústav konstruování, fakulta strojního inženýrství, VUT v Brně

ISBN

978-80-214-3406-6

Kniha

Konference diplomových prací 2007

Číslo edice

1

Strany od–do

1–5

Počet stran

5

BIBTEX


@proceedings{BUT28070,
  author="Petr {Šperka} and Martin {Hartl},
  title="3D optický profilometr pro mapování inženýrských povrchů",
  booktitle="Konference diplomových prací 2007",
  year="2007",
  month="June",
  pages="1--5",
  publisher="Ústav konstruování",
  address="Ústav konstruování, fakulta strojního inženýrství, VUT v Brně",
  isbn="978-80-214-3406-6"
}