Nabízené řešení je vhodné do mikroskopů atomárních sil, které jsou obecně velmi citlivé na vibrace. Naše řešení se týká inovace spojení měřící hlavy se vzorkem, aby byly vibrace přenášené na hrot sondy co nejmenší.

Popis technologie

Mechanické uchycení měřící hlavy pro mikroskopii rastrující sondou je příslušenstvím k rastrovacím mikroskopům, zejména u mikroskopů atomárních sil. Tyto mikroskopy slouží k trojrozměrnému zobrazování povrchu a výsledný obraz se skládá bod po bodu pomocí sondy s hrotem, která skenuje povrch vzorku. Pro skenování povrchu je tedy třeba, aby se vzorek pohyboval pod hrotem – to je provedeno pomocí tzv. skeneru (piezo-element). Pro nastavení hrotu ke vzorku se používá další posuv (tzv. makroposuv). Oba posuvy mají každý svůj motor. Tyto motory však způsobují nežádoucí vibrace, které zmenšují přesnost mikroskopu.

V navrhovaném řešení byly vibrace sníženy pomocí odstranění částečného vlivu jednoho z motorů jeho vhodnějším uložením. Navíc bylo použito takové přichycení měřící hlavy, které umožňuje skenovat povrch i při naklonění měřící hlavy se vzorkem, a to až o 90°. Tohoto je možné s výhodou využít, jestliže je vzorek třeba nějak upravovat před samotným měřením, např. výrobek chladit. Výsledkem jsou přesnější data při konstantní teplotě během celého měření.

Hlavní výhody

• Nižší vibrace
• Větší přesnost měření
• Možnost měření v nakloněné poloze

Ochrana duševního vlastnictví

• Ochrana obchodního tajemství
• Plánované podání přihlášky užitného vzoru

Nabízíme výhradní či nevýhradní licenci a možnost výzkumné spolupráce.